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製品紹介

RF・マイクロ波 プラズマCVD実験装置(平行平板型) RFPM-PCVD シリーズ

  • 試験装置/評価装置

●納入年度/
●納入都道府県/

概要

RF・マイクロ波プラズマCVD実験装置は、多種多様な実験に応用可能です。
カーボンナノ材料開発、炭素膜・窒化膜コーティング、マイクロ波表面波によるエッチングなどの実験装置として使用できます。

特徴

ヒーター特性900℃まで50分以内で上昇可能です。
RFプラズマCVDとしてもマイクロ波プラズマCVDとしても使用可能です。

仕様

電源AC200V 三相3線式 50/60Hz (電源電圧変動:±10%)
最大電流60A
運転可能周囲温度湿度+5〜+35℃/75%rhまで
装置本体外形寸法(W×H×Dmm)2400×1765×800
装置システム敷地寸法(W×Dmm)3700×1500
装置本体重量(kg)800
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