次世代自動車に搭載されている車載カメラやセンサーに用いられる反射防止膜を製膜する装置です。
従来のスパッタ法に最新技術を取り入れ、高性能光学薄膜を得られるスパッタ装置の開発を行っております。

知の拠点あいち重点研究プロジェクトⅡ期において燃料電池フォークリフト向けの充填装置の開発及び水素製造触媒装置の研究を行い、事業化へ向けた研究開発を行います。
本プロジェクトは充填装置の開発と水素製造触媒装置の研究開発に分かれており、多様化する水素供給方法に追従するとともに本水素充填装置により、燃料電池フォークリフト普及の妨げとなっている各課題を解決いたします。

矩形カソード W100ｘH500mmによる3元RFスパッタリングを行います。
基板サイズW200×H300mm、X方向へ搬送しながら蒸着いたします。
基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整、様々な異種積層成膜が可能。