RF・マイクロ波　プラズマCVD実験装置（平行平板型） RFPM-PCVD シリーズ

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概要

RF・マイクロ波プラズマCVD実験装置は、多種多様な実験に応用可能です。
カーボンナノ材料開発、炭素膜・窒化膜コーティング、マイクロ波表面波によるエッチングなどの実験装置として使用できます。

ヒーター特性900℃まで50分以内で上昇可能です。
RFプラズマCVDとしてもマイクロ波プラズマCVDとしても使用可能です。