戦略的基盤技術高度化支援事業車載センサー向け高性能コーティング膜製造用スパッタ装置の開発
- 産学連携/研究開発
●納入年度/未定
●納入都道府県/未定
概要
次世代自動車に搭載されている車載カメラやセンサーに用いられる反射防止膜を製膜する装置です。
従来のスパッタ法に最新技術を取り入れ、高性能光学薄膜を得られるスパッタ装置の開発を行っております。
従来のスパッタ法に最新技術を取り入れ、高性能光学薄膜を得られるスパッタ装置の開発を行っております。
特徴
・遷移領域制御による製膜レートと膜質の制御
・HIPIMS電源を使用したプラズマ高密度化